Ang WF6 ay pangunahing ginagamit bilang isang hilaw na materyal para sa proseso ng chemical vapor deposition (CVD) ng metal tungsten sa industriya ng electronics. Ang WSi2 na ginawa mula sa WF6 ay maaaring gamitin bilang isang wiring material sa large-scale integrated circuits (LSI), at maaari ding gamitin bilang raw material para sa semiconductor electrodes, fluorine Raw materials para sa mga kemikal na ahente, polymerization catalysts, optical materials, atbp.