WF6 முக்கியமாக மின்னணு துறையில் உலோக டங்ஸ்டனின் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைக்கு ஒரு மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. WF6 இலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட WSi2 பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் (LSI) வயரிங் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் குறைக்கடத்தி மின்முனைகள், வேதியியல் முகவர்களுக்கான ஃப்ளோரின் மூலப்பொருட்கள், பாலிமரைசேஷன் வினையூக்கிகள், ஒளியியல் பொருட்கள் போன்றவற்றுக்கான மூலப்பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம்.