WF6 в основном используется в качестве сырья для процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD) металлического вольфрама в электронной промышленности. WSi2, полученный из WF6, может использоваться в качестве материала для проводов в больших интегральных схемах (БИС), а также может использоваться в качестве сырья для полупроводниковых электродов, фтора, сырья для химических агентов, катализаторов полимеризации, оптических материалов и т. д.