O WF6 é usado principalmente como matéria-prima para o processo de deposição química de vapor (CVD) de tungstênio metálico na indústria eletrônica. O WSi2 feito de WF6 pode ser usado como material de fiação em circuitos integrados de larga escala (LSI) e também como matéria-prima para eletrodos semicondutores, flúor, matéria-prima para agentes químicos, catalisadores de polimerização, materiais ópticos, etc.