WF6 нь электроникийн үйлдвэрт металл гянтболдын химийн уурын хуримтлал (CVD) процессын түүхий эд болгон голчлон ашиглагддаг. WF6-аас хийсэн WSi2-ийг том хэмжээний нэгдсэн хэлхээнд (LSI) утас материал болгон ашиглаж болохоос гадна хагас дамжуулагч электрод, фторын түүхий эд, химийн бодис, полимержих катализатор, оптик материал гэх мэт түүхий эд болгон ашиглаж болно.