ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ ലോഹ ടങ്സ്റ്റണിന്റെ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (CVD) പ്രക്രിയയ്ക്കുള്ള അസംസ്കൃത വസ്തുവായിട്ടാണ് WF6 പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്. WF6-ൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ച WSi2 വലിയ തോതിലുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളിൽ (LSI) വയറിംഗ് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കാം, കൂടാതെ സെമികണ്ടക്ടർ ഇലക്ട്രോഡുകൾ, കെമിക്കൽ ഏജന്റുകൾക്കുള്ള ഫ്ലൂറിൻ അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ, പോളിമറൈസേഷൻ കാറ്റലിസ്റ്റുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ മെറ്റീരിയലുകൾ മുതലായവയ്ക്കുള്ള അസംസ്കൃത വസ്തുവായും ഉപയോഗിക്കാം.