WF6 ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນວັດຖຸດິບສໍາລັບຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ຂອງ tungsten ໂລຫະໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ. WSi2 ທີ່ຜະລິດຈາກ WF6 ສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນສາຍໄຟໃນວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່ (LSI), ແລະຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນວັດຖຸດິບສໍາລັບ electrodes semiconductor, fluorine ວັດຖຸດິບສໍາລັບຕົວແທນສານເຄມີ, catalysts polymerization, ວັດສະດຸ optical, ແລະອື່ນໆ.