WF6 bi giranî wekî madeya xav ji bo pêvajoya pêkhatina buxara kîmyewî (CVD) ya tungstena metal di pîşesaziya elektronîkê de tê bikar anîn. WSi2 ya ji WF6 hatî çêkirin dikare wekî madeya têlkirinê di devreyên entegre yên mezin (LSI) de were bikar anîn, û her weha dikare wekî madeya xav ji bo elektrodên nîvconductor, madeya xav a florîn ji bo ajanên kîmyewî, katalîzatorên polîmerîzasyonê, materyalên optîkî, û hwd. were bikar anîn.