A WF6-ot főként az elektronikai iparban a volfrám fém kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárásának alapanyagaként használják. A WF6-ból előállított WSi2 felhasználható nagyméretű integrált áramkörök (LSI) vezetékezési anyagaként, valamint félvezető elektródák, fluoridok, vegyi anyagok, polimerizációs katalizátorok, optikai anyagok stb. alapanyagaként.