Le WF6 est principalement utilisé comme matière première pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) du tungstène métallique dans l'industrie électronique. Le WSi2 issu du WF6 peut être utilisé comme matériau de câblage dans les circuits intégrés à grande échelle (LSI), ainsi que comme matière première pour les électrodes semi-conductrices, les matières premières fluorées pour agents chimiques, les catalyseurs de polymérisation, les matériaux optiques, etc.